1．超纯水关键指标，TOC和硼；

2．半导体的线宽的不同，对水质的要求不同，线宽越小水质要求越高；

3．电阻值是最容易达到的，TOC是最困难的，三星的水质一般都是0.几，即使要求1以下；

4．溶解氧，真空脱气塔，可以做到小于50ppb。10ppb需要使用脱气膜；

5．颗粒物，去除只有RO和终端超滤；树脂，几万，十几万，只有RO 才可以做到100颗以下；

6．ppt=10-12,ppb=10-9,ppm,10-6

7．硅，超滤，足够的混床可以去除，问题不是很大；

8．现有的仪器，只能监测50nm的颗粒物，可能现在有30nm，但是没有20nm;

9．除硼，一定要一个可再生的混床，或者强碱型阴树脂；

10．溶解氧的要求，在进氮封水箱前要有脱气膜，脱氧之后一定要氮封；

11．氮封储槽，要内衬PVDF；

12．抛光的循环管线，一定要一直运行，不能停，如果停下来会很久水质才会上升；

13．抛光混床管线持续循环会使温度升高，一定要加换热器；

14．循环管线的设计，需要压差是恒定的，先进先出；

15．水箱，MMF（大颗粒，小于浊度1NTU），活（部分有机物，TOC去除50%左右，自来水中的余氯，保护树脂，不会影响树脂），阳，脱，阴（去除离子和TOC，树脂可以去除70%~80%，可以降到100ppb，可以除硼，水质可以达到1~2MΩ.cm），RO（去除颗粒物，电阻值变化不会太大，小分子有机物进一步去除50%~70%）,UV（剩下的30ppb通过TOC-UV降解后再去除）,DO（如果有氧气的要求，在进超纯水箱前将氧气脱除）,EH,UV（再通过二级降解，达到要求值，1ppb）,CP,FF（终端超滤必须要有，才能达到颗粒物和细菌的要求）；

16．如果超纯水系统对于TOC有要求，最好不要用中水的回用的产水加入到超纯水系统中；

17．活性炭的功能，（1）有机物，看吸附量（2）余氯，只是床高的影响，碘值不够需要更换；

18．阳，脱，阴树脂，使用工业等级的树脂，初次使用必须要小心，必须再生3次以上才可以产水，买超纯水等级的会比较快；

19．TOC把有机物变成带电的或变成二氧化碳；

20．TOC-UV有一定的杀菌功能，前半段一般不会长菌，后半段循环系统不能停机，长菌之后会导致超滤堵塞，树脂装之前一定要杀菌处理，用双氧水杀菌；

21．终端超滤，只有旭化成和日东电工的产品，精度截留分子量是6000~8000；

22．TOC进水1000ppb,阳，脱，阴，（小于100ppb），RO50%~60%（50~40）,TOC（需要的水质）；

23．双级反渗透+EDI，微量金属很难达到100ppb；

24．进水水质比较差，RO可以在前，再加阳，阴（双级RO+混床），可以不加脱气塔；

25．几万的颗粒物，有些十几万进水，需要RO去除，不能有泄露，RO(100~1000正常，1000以上有问题)，UF （去除到0）；

26．抛光树脂很难去除硼，没有强阴树脂很难去除。RO只能去除40%；自来水，50ppb，海水，经过海水淡化，还会有500ppb，废水会比较高。

27．超纯水产水要求，很高，EDI到氮封，Clean-PVC或PPH，后端抛光混床，一定是PVDF，抛光混床内衬一定PVDF，可再生的混床，要求不是那么高，如果要求高，还是建议使用PVDF；

28．除硼树脂会释放的TOC比较多，如果除硼的话，需要放置在反渗透前；树脂的释放TOC是带苯环的，如果再单独使用TOC可能会将不下来；

29．TOC有要求，最好要求6040，微量金属要求高，最好也选择，6040；半导体建议使用6040（5个ppt微量金属），比较保险；面板厂，可以选择6150（10个ppt微量金属）；

30．如果只要求18MΩ，可以使用UPVC管道都没有问题，但对于TOC或者其他离子的要求，必须使用PVDF材质；

31．用树脂作为前处理，500ppt，混床50ppt以下；

32．pH提高硼和硅的去除率；

33．树脂氢型比例达到多少，才可以达到什么的水质；

34．抛光混床的容量，只用到了1%；进超纯水水箱之前，要求水质达到最终水质要求，抛光混床只起到保护作用；

35．经过RO之后大分子有机物已经全被去除，小分子必须靠TOC才能去除；

36．阳，阴，脱，至少2~3次的再生，才能去除掉比较多的TOC，不然启动会出现TOC过高；

37．树脂的交联度越高，越不易氧化，越不易释放TOC；

38．产水6个小时以上的时候，会得到较好的产水；

39．膜本身具有TOC的能力，选择高脱盐率的膜，HR系列的膜元件，比较不会释放TOC，SG半导体的膜会释放比较少的TOC，TOC比较高的时候，需要使用经过后处理后的膜；SG比普通BW的膜；

40．冬天的时候尿素的有机物，很难被树脂和RO去除，用SG的半导体的膜，可以去除到比较好的值；

41．苦咸水膜（树脂+RO，50ppb）,需要1周的时间，SG的膜，1天可以达到要求，SG在厂内已处理；

42．TOC＜1ppb，2B3T至少控制＜100ppb，RO＜20PPb， P MB＜ 5ppb， MB P＜ 1ppb；

43．RO去除硼，pH提高，进水1ppm~1.4ppm,pH调整到10,0.1ppm（100ppb）；很难作为处理到ppt的等级；EDI，只有70%左右的去除效果；

44．RO出水100ppb,RO出水28，EDI，6~7，MB 5ppb，出水不合格；

45．（1）RO前加除硼树脂，（2）抛光混床前加抛光强碱阴树脂（经济性比较差，选可再生的会比较好）；进RO前60ppb，出水可以达到ppt级；除硼树脂的操作容量0.8g/L树脂；

46．抛光混床pH值是接近中性的，基本上没有去除硼的能力；

47．终端超滤有5%的错流，回到RO之前；回流水是用水的2倍以上会比较好；

48．流速越慢，同等长度的管道释放的量越多，管道流速，至少要达到1.5~2m/s；

49．在超纯水系统，选择的脱气膜选脱氧气的膜就可以，在后段系统基本二氧化碳；

50．流量和流速回水流量如何保证，需要维持一定的线性流速，类似；reverse return设计；

51．回水管线上加254UV或者TOC-UV；

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