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1.超纯水关键指标,TOC和硼;

2.半导体的线宽的不同,对水质的要求不同,线宽越小水质要求越高;

3.电阻值是最容易达到的,TOC是最困难的,三星的水质一般都是0.几,即使要求1以下;

4.溶解氧,真空脱气塔,可以做到小于50ppb。10ppb需要使用脱气膜;

5.颗粒物,去除只有RO和终端超滤;树脂,几万,十几万,只有RO 才可以做到100颗以下;

6.ppt=10-12,ppb=10-9,ppm,10-6

7.硅,超滤,足够的混床可以去除,问题不是很大;

8.现有的仪器,只能监测50nm的颗粒物,可能现在有30nm,但是没有20nm;

9.除硼,一定要一个可再生的混床,或者强碱型阴树脂;

10.溶解氧的要求,在进氮封水箱前要有脱气膜,脱氧之后一定要氮封;

11.氮封储槽,要内衬PVDF;

12.抛光的循环管线,一定要一直运行,不能停,如果停下来会很久水质才会上升;

13.抛光混床管线持续循环会使温度升高,一定要加换热器;

14.循环管线的设计,需要压差是恒定的,先进先出;

15.水箱,MMF(大颗粒,小于浊度1NTU),活(部分有机物,TOC去除50%左右,自来水中的余氯,保护树脂,不会影响树脂),阳,脱,阴(去除离子和TOC,树脂可以去除70%~80%,可以降到100ppb,可以除硼,水质可以达到1~2MΩ.cm),RO(去除颗粒物,电阻值变化不会太大,小分子有机物进一步去除50%~70%),UV(剩下的30ppb通过TOC-UV降解后再去除),DO(如果有氧气的要求,在进超纯水箱前将氧气脱除),EH,UV(再通过二级降解,达到要求值,1ppb),CP,FF(终端超滤必须要有,才能达到颗粒物和细菌的要求);

16.如果超纯水系统对于TOC有要求,最好不要用中水的回用的产水加入到超纯水系统中;

17.活性炭的功能,(1)有机物,看吸附量(2)余氯,只是床高的影响,碘值不够需要更换;

18.阳,脱,阴树脂,使用工业等级的树脂,初次使用必须要小心,必须再生3次以上才可以产水,买超纯水等级的会比较快;

19.TOC把有机物变成带电的或变成二氧化碳;

20.TOC-UV有一定的杀菌功能,前半段一般不会长菌,后半段循环系统不能停机,长菌之后会导致超滤堵塞,树脂装之前一定要杀菌处理,用双氧水杀菌;

21.终端超滤,只有旭化成和日东电工的产品,精度截留分子量是6000~8000;

22.TOC进水1000ppb,阳,脱,阴,(小于100ppb),RO50%~60%(50~40),TOC(需要的水质);

23.双级反渗透+EDI,微量金属很难达到100ppb;

24.进水水质比较差,RO可以在前,再加阳,阴(双级RO+混床),可以不加脱气塔;

25.几万的颗粒物,有些十几万进水,需要RO去除,不能有泄露,RO(100~1000正常,1000以上有问题),UF (去除到0);

26.抛光树脂很难去除硼,没有强阴树脂很难去除。RO只能去除40%;自来水,50ppb,海水,经过海水淡化,还会有500ppb,废水会比较高。

27.超纯水产水要求,很高,EDI到氮封,Clean-PVC或PPH,后端抛光混床,一定是PVDF,抛光混床内衬一定PVDF,可再生的混床,要求不是那么高,如果要求高,还是建议使用PVDF;

28.除硼树脂会释放的TOC比较多,如果除硼的话,需要放置在反渗透前;树脂的释放TOC是带苯环的,如果再单独使用TOC可能会将不下来;

29.TOC有要求,最好要求6040,微量金属要求高,最好也选择,6040;半导体建议使用6040(5个ppt微量金属),比较保险;面板厂,可以选择6150(10个ppt微量金属);

30.如果只要求18MΩ,可以使用UPVC管道都没有问题,但对于TOC或者其他离子的要求,必须使用PVDF材质;

31.用树脂作为前处理,500ppt,混床50ppt以下;

32.pH提高硼和硅的去除率;

33.树脂氢型比例达到多少,才可以达到什么的水质;

34.抛光混床的容量,只用到了1%;进超纯水水箱之前,要求水质达到最终水质要求,抛光混床只起到保护作用;

35.经过RO之后大分子有机物已经全被去除,小分子必须靠TOC才能去除;

36.阳,阴,脱,至少2~3次的再生,才能去除掉比较多的TOC,不然启动会出现TOC过高;

37.树脂的交联度越高,越不易氧化,越不易释放TOC;

38.产水6个小时以上的时候,会得到较好的产水;

39.膜本身具有TOC的能力,选择高脱盐率的膜,HR系列的膜元件,比较不会释放TOC,SG半导体的膜会释放比较少的TOC,TOC比较高的时候,需要使用经过后处理后的膜;SG比普通BW的膜;

40.冬天的时候尿素的有机物,很难被树脂和RO去除,用SG的半导体的膜,可以去除到比较好的值;

41.苦咸水膜(树脂+RO,50ppb),需要1周的时间,SG的膜,1天可以达到要求,SG在厂内已处理;

42.TOC<1ppb,2B3T至少控制<100ppb,RO<20PPb, P MB< 5ppb, MB P< 1ppb;

43.RO去除硼,pH提高,进水1ppm~1.4ppm,pH调整到10,0.1ppm(100ppb);很难作为处理到ppt的等级;EDI,只有70%左右的去除效果;

44.RO出水100ppb,RO出水28,EDI,6~7,MB 5ppb,出水不合格;

45.(1)RO前加除硼树脂,(2)抛光混床前加抛光强碱阴树脂(经济性比较差,选可再生的会比较好);进RO前60ppb,出水可以达到ppt级;除硼树脂的操作容量0.8g/L树脂;

46.抛光混床pH值是接近中性的,基本上没有去除硼的能力;

47.终端超滤有5%的错流,回到RO之前;回流水是用水的2倍以上会比较好;

48.流速越慢,同等长度的管道释放的量越多,管道流速,至少要达到1.5~2m/s;

49.在超纯水系统,选择的脱气膜选脱氧气的膜就可以,在后段系统基本二氧化碳;

50.流量和流速回水流量如何保证,需要维持一定的线性流速,类似;reverse return设计;

51.回水管线上加254UV或者TOC-UV;

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